【技术创新驱动发展 仟净环保高纯水系统赋能半导体产业链升级】

净心
2025-05-27

  【技术创新驱动发展 仟净环保高纯水系统赋能半导体产业链升级】 在半导体产业自主化进程加速的背景下,仟净环保近日宣布其新一代超纯水制备系统已形成完整解决方案矩阵,成功应用于国内多家重点半导体产业链企业。作为专注精密水处理领域的高新技术企业,公司依托自主知识产权的多级过滤核心技术,持续为化合物半导体制造、芯片封装测试、电子级化学品生产等关键环节提供高纯度水质保障。


针对第三代半导体材料制造的特殊需求,仟净环保研发团队突破传统工艺瓶颈,创新性开发出多梯度膜分离技术。该技术通过精确控制18道水质参数,可实现持续稳定产出18.2MΩ·cm超纯水,关键指标达到国际半导体设备与材料协会(SEMI)E63标准。目前该解决方案已成功导入碳化硅外延片生产、12英寸晶圆封装、光刻胶稀释等20余种核心制程场景。


"我们始终聚焦精密制造领域的提质增效需求",仟净环保技术总监表示,"通过构建智能化水质监控平台,我们的系统可实时追踪TOC、溶解氧等12项关键指标,结合大数据预测性维护功能,设备综合运行效率提升30%以上。"据悉,该解决方案已覆盖华南、华东、西南等半导体产业聚集区,累计服务客户包括3家全球TOP10半导体材料供应商及8家晶圆制造企业。  


在双碳目标引领下,仟净环保同步推进绿色工艺创新。新一代设备采用模块化节能设计,相较传统设备实现单位水耗降低25%,废水中和回用率提升至92%。企业现已形成包含工艺设计、设备集成、运维服务的全周期服务体系,正在筹建长三角研发中心,重点攻关极紫外光刻配套水处理等尖端领域。


此次技术升级标志着国产超纯水设备进入精密控制新阶段,为半导体材料国产化替代提供了重要基础设施支撑。仟净环保将持续深化产学研合作,重点突破纳米级粒子控制技术,助力构建安全可控的半导体产业生态链。

半导体超纯水-仟净

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