广东江门某半导体公司晶圆封装用超净水设备应用案例5t/h

制造商：东莞市仟净环保设备有限公司

水质标准：晶圆封装用水标准

产地：广东东东莞

类目：半导体超纯水工程系列2

部分指标:

在线电阻率：（25度）≥18M

总有机碳（TOC）：<5ug/L

溶解氧（DO）:≤25ug/L

颗粒:尺寸0.05-0.1um≤1个/L

细菌总数:≤5个/100mL

金属离子: Na、Ca、Fe、Cu、CI、K<0.05 ug/L

全硅:<5ug/L