仟净环保超纯水设备通过第三方权威检测，助力晶圆封装企业实现高品质用水

2026年2月，仟净环保为某知名晶圆封装企业定制开发的超纯水系统顺利完成安装调试，并委托国际权威第三方检测机构对该设备产水水质进行全面验证。根据最新出具的《半导体超纯水检测报告2026》（完整报告可通过附件下载PDF版本），设备各项关键指标均达到国际半导体行业**标准，标志着国产超纯水技术在高端制造领域实现重大突破。

核心检测数据亮点

1. **纯度

   • 电阻率：18.2兆欧·厘米（25℃），达到理论极限值

   • TOC（总有机碳）：≤5 ppb

   
   

2. 痕量金属控制

   • 关键金属离子（Na⁺、K⁺、Fe³⁺等）含量均低于0.01 ppb

   • 硅含量≤0.3 ppb，满足纳米级晶圆封装工艺要求

   
   

3. 微生物及颗粒物

   • 细菌总数：<0.1 CFU/mL

   • ≥0.05μm颗粒物：<5个/mL，符合ISO Class 1级洁净度

   
   

技术价值与行业意义

该设备采用仟净环保专利的"多级RO+电化学除盐+真空脱气"集成工艺，结合AI驱动的智能水质预警系统，实现24小时水质稳定性控制。检测结果证明，系统在满负荷运行（设计产能30吨/小时）条件下，能耗较传统设备降低18%，且首次实现120天无人工干预连续运行，大幅降低客户运维成本。

完整检测报告包含27项细分指标对比及长期稳定性验证数据，现已作为该晶圆厂ISO 14644认证的核心支撑文件。仟净环保通过此次合作，成功验证国产超纯水设备在3纳米先进封装工艺中的可靠应用，为半导体产业链自主化提供关键技术保障。

附件下载
[半导体超纯水检测报告2026_FullVersion.pdf]