半导体超纯水设备专业供应商——东莞仟净环保,助力高端制程用水“零缺陷”

净心
2026-07-25

在半导体制造与先进封装工艺中,超纯水(DI水)被誉为“制程血液”。从晶圆湿法清洗、电镀铜填充,到抛光液配制与最终成品测试,任何水质波动都可能导致良率滑坡甚至批次报废。东莞仟净环保设备有限公司,依托东莞总部研发中心与重庆生产制造基地,专注为半导体行业提供全系列电子级超纯水系统,以稳定性、洁净度与连续运行可靠性,护航每一道高精密制程。

覆盖全场景:从实验室研发到量产工程

我们针对不同产线需求,推出三大产品序列:

  • 半导体实验室机型:产水量100–1000 L/H,紧凑模块化设计,适合研发中心、失效分析实验室及小批量试产线,即装即用,出水电阻率稳定达18.2 MΩ·cm@25℃,TOC<1 ppb。

  • 量产级标准机型:产水量2000–6000 L/H,针对IC封装、功率半导体(IGBT/SiC)及SiP先进封装产线,集成双级RO+EDI+抛光混床+终端超滤,满足连续24/7运行需求。

  • 大型工程系列:8–100吨/小时定制化系统,服务于8英寸/12英寸晶圆厂、大尺寸面板及高端化合物半导体产线,采用分布式控制与冗余设计,确保极端工况下水质无衰减。

核心技术优势:为半导体“量身定制”

仟净超纯水设备在三个维度实现差异化突破:

  1. 水质**稳定——采用智能水质在线监测与自适应回流调节,实时响应原水波动,确保产水电阻率、颗粒数(≥0.05μm<1个/mL)、金属离子(ppt级)等关键指标长期优于SEMI F63标准。

  2. 管路超高洁净度——全系统采用PVDF/CPVC洁净管材,搭配镜面电抛光不锈钢阀门,杜绝生物膜与颗粒析出;定期自动清洗消毒程序,有效控制细菌内毒素。

  3. 连续运行可靠性——关键泵阀双备冗余,PLC全自动切换;依托重庆基地快速备件库,提供7×24小时远程运维支持,设备综合利用率(OEE)≥98%。

丰富案例验证,交期快、性价比突出

我们已为国内多家头部封测厂、功率器件企业及第三代半导体实验室交付超纯水系统,最长无故障运行时间超过5年。凭借东莞研发+重庆制造的双擎布局,标准机型交货周期较行业平均缩短30%,同时通过国产化供应链优化,为客户节省20%~30%初期投资及长期运维成本。

让每一滴水,都经得起晶圆级的审视

无论是晶圆测试、成品终检,还是铜电镀、光刻胶显影,仟净DI水设备始终以“零妥协”的水质保障,助您提升良率、降低风险。访问官网或致电,获取适配您制程的定制方案——仟净环保,纯净始于专业,可靠成于匠心

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