工程案例｜半导体抛光液专用超纯水项目落地！仟净20T/D超纯水系统顺利交付运行
净心
2026-08-17
近期，仟净环保顺利完成某半导体高新企业20吨/天晶圆抛光液专用超纯水系统的定制安装、管路铺设与整机调试工作，目前项目已正式竣工验收、投入商业化生产。该系统专为企业CMP晶圆抛光液生产线配套使用，稳定产出高纯度电子级DI超纯水，为半导体抛光液生产工艺提供核心水质保障。
在半导体抛光液生产工艺中，超纯水是核心工艺介质，水质纯度直接决定抛光液的均匀度、洁净度，是把控晶圆抛光精度、提升芯片良品率的关键。客户原有水处理设备存在水质不稳定、杂质管控不到位等问题，无法满足高端抛光液的生产标准，因此亟需一套专业化、高稳定性的电子级超纯水系统。
针对客户20吨/天的用水产能需求与严苛的半导体用水标准，仟净技术团队结合生产工况，量身定制专属水处理解决方案。系统采用成熟的多级纯化工艺，通过预处理系统去除水中泥沙、胶体等大颗粒杂质，依托双级反渗透深度脱盐，搭配EDI连续电除盐、TOC降解装置与核级抛光混床深度提纯，最后经终端精密过滤净化，全方位去除水中离子、有机物、微生物及微量杂质。
为杜绝二次污染，项目全程采用高纯洁净管路施工工艺，严控管路溶出、死水死角问题，有效避免氯离子、颗粒物超标等常见水质问题。设备搭载全自动智能控制系统，可24小时不间断稳定运行，实时监测产水电阻率、水质纯度等核心数据，设备产水稳定达到18.25MΩ·cm，完全符合SEMI半导体行业用水规范。
本次项目全程高效落地，从方案勘测设计、设备定制生产到现场标准化安装调试，全程严控施工品质与工期进度。设备投产至今，运行稳定、水质参数持续达标，完美适配客户抛光液调配、稀释、工艺清洗等全流程用水需求。未来，仟净将持续深耕半导体水处理领域，为西南及全国半导体材料企业提供高适配、高稳定性的超纯水一体化工程服务。
