本公司专业生产晶圆封装用超纯水设备,为广东,江苏,重庆,成都等多家半导体厂家提供晶圆封装级别的超纯水设备。
制水量根据用户要求,目前有:1t/h,5t/h,25t/h,50t/h,75t/h等常用规格。多家晶圆及晶圆封装厂应用案例。
部分指标:
在线电阻率:(25度)≥18.2M
总有机碳(TOC):<5ug/L
溶解氧(DO):≤25ug/L
颗粒:尺寸0.05-0.1um≤1个/L
细菌总数:≤5个/100mL
金属离子: Na、Ca、Fe、Cu、CI、K<0.05 ug/L
全硅:<5ug/L



